Basınç ölçüm sensörleri çip yapısı
Sensör çipinin temel yapısı diyaframın ve sinyal işleme parçasının entegrasyonu ile karakterize edilebilir ve piezo direnç etkisini kullanan dört yayılmış direnç diyaframdaki wheatstone köprüsünü oluşturur.
Sensör çipi 3-4 mm büyüklüğündedir. Diyaframın kalınlığı ise 25 – 40 m civarındadır. Diyafram daire, kare ve dikdörtgen şekilli olarak mikro elektromekanik sistem denilen ultra hassas üretim teknolojisi ile üretilir.
